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脉冲激光沉积(PLD)是一种用途非常广泛的薄膜及纳米结构的制备方法。其已成功地应用于各种复杂氧化物、氮化物和多元素材料等的薄膜制备。近年来,激光薄膜制备已发展到了分子束外延的水平,即激光分子束外延(Laser-MBE)。Laser-MBE使得激光薄膜生长达到了前所未有的水平,如重构、杂质晶相及岛状生长等等。通过与国内外高校的横向合作,AG平台可以根据用户需求,为用户定制PLD/Laser-MBE联用系统。此外,AG平台也能定制磁控溅射及热蒸发等镀膜设备。



      该系统具有很高的加热效率(腔体受热少)及真空度,因而能够保持低的污染水平及高稳定的工作性能。所集成的RHEED 图像调节方便,快捷。系统操作简便,数分钟即可完成靶源和样品的更换。另外,本系统具有大的有效抽速,可以保持非常高的使用效率。    马建行博士在Oak Ridge国家实验室建立的 Laser-MBE 系统(附1),在国际上首次实现了(过渡金属氧化物薄膜的)达原子分辨率级的STM原位观察,为过渡金属氧化物性质的微观机理研究开辟了新的途径。另外,他为UCR 物理系研制的多功能Laser-MBE系统(附2)也被成功地应用于各种超晶格、多层膜的制备及器件物理的研究。

1. J. X. Ma et al, Phys. Rev. Lett. 95, 237210(2005)

2. 2. H.Y. Zhai, J. X. Ma et al, Phys. Rev. Lett. 97, 167201(2006)


                                       


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