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  上海纳腾能够按照客户的设计图形,进行微纳加工服务。结合传统光刻、干涉光刻、电子束光刻及纳米压印等工艺,可以实现最小特征尺寸30nm的纳米结构。同时,AG平台也能运用先进的磁控溅射、激光脉冲镀膜、纳米团簇沉积等技术衬底上镀纳米膜或者颗粒。此外,AG平台还可以提供AFM无损表征的测试服务。以下是AG平台微纳加工及测试服务的案例:






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