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Elite 300 在 300mm 测试中设立了新标准,在 45nm 及以下工艺节点上与 ITRS 发展蓝图保持同步,它克服了由于器件复杂度的增加、焊盘尺寸的缩小以及电压的降低所带来的测量难题。另外,它还提供了当今世界上噪声最低的“安静”环境,并确保了低漏电、低电容测量。同时它继承Summit系列机台的优点,标配的Micorchamber满足1fA的超低漏电流测试,RF-500GHz需求,低温到-70℃不结霜,以及更多的扩展性能,成为一套您随心升级的测试系统。


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