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ET4000是一款最大可测8~12英寸样品的台阶仪,采用了Kosaka独有的直动式台阶测量方式,有效避免了传统杠杆式台阶仪所带来的圆弧误差。全身花岗岩材质的低重心设计,起到了良好的自隔震作用。这些都使其拥有极高的分辨率和极佳的重复性!ET4000具备了台阶高度、粗糙度、波纹度、翘曲度、磨损度、薄膜应力等多种表面形貌测量及分析技术。低测定力模式不仅能够避免划伤样品,也能对于软性样品进行测试,适合于各类晶片、薄膜、涂层、MEMS、平板显示等领域的表面测量。


主要参数
LVDT差动变压器
  LVDT最基本的结构是由在圆柱形骨架上绕有螺旋形的原边和两个付边绕组所组成的线圈 及一可动铁芯构成。当原边供给一振荡电压时,由于电磁感应,两付边就分别产生感应电压V1和V2。若铁芯正处线圈的中心位置时,两付边对原边的互感量正好 相等,同时两付边的交流电压分别经检测电路检波后,把所得两直流电压取其差值,则输出差动直电压V为零。 当铁芯往上位移时,上边的付边与原边的互感量增大,而下边的减小,即出现V1>V2,则差动直流输出电压V>0,反之亦然。可见差动直流电压V与铁芯位移 的大小在某一范围内是呈线性关系的。测量时把LVDT壳体夹固在参照物上,把和铁芯连接的测杆紧固在被测点上,当被测对象位移时就带动铁芯相对于线圈动, 从而线性地改变LVDT的输出电压。这样通过电测仪器测量LVDT输出电压的大小,即可测量出被测对象的位移量。
  差动变压器式位移传感器结构形式较多,主要有变隙式、变面积式及差动螺线管式变压器 等,但它们的工作原理基本相同,都是利用两个线圈之间互感的变化引起感应电势的变化,来获得与被测量成一定函数关系的输出电压,实现非电量的测量。应用最 多的是螺线管式差动变压器,它可以测量1-100(mm)范围内的机械位移、150HZ以下的低频振动、加速度、应变、比重、张力、厚度、称重等一切能引 起机械位移变化的非电物理量。
主要特点
 
1.具有极佳的台阶高度重复性5? (1σ)和线性度(垂直线性度:200nm以上为±0.25%;200nm以下为0.5nm);
2.高分辨率,纵轴最大分辨率为0.1nm,横轴为0.01μm,可精确测量纳米级至几百微米级台阶
3.超高直线度: 0.005μm/5mm,可测定微细表面形状、段差、平面度、粗度、应力分析等;
 
4.低测定力:采用直动力LVDT检出器,触针力在0.5μN~500μN范围可以任意调节,可测定软质材料;
5.即时监控系统:配置标准CCD,可即时监控量测位置;还可选购Top View CCD,进行高精度定位量测;
6.可扩充成三次元设备和追加三次元解析软件,观察样品全貌和测定台阶移动量;


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